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按照被測量的物理性質，微型傳感器可以分為化學微傳感器、生物微傳感器、物理微傳感器等。
一、離子傳感器——化學型
離子傳感器是把溶液中的離子活度轉換為電信號的傳感器�；驹硎抢霉潭ㄔ诿舾心ど系碾x子識別材料有選擇性的結合被傳感的離子，因此發(fā)生膜電位或膜電壓的改變，達到檢測目的。離子敏傳感器廣泛用在化學、醫(yī)藥、食品以及生物工程等行業(yè)中。
二、基因傳感器——生物型
基因傳感器通過固定在感受器表面上的已知核苷酸序列的單鏈脫氧核糖核酸（Deoxyribo Nucleic Acid,DNA）分子（也稱為ssDNA探針），與另一條互補的ssDNA分子（也稱為目稱DNA或靶DNA）雜交，形成雙鏈DNA（dsDNA），可以轉換成為將雜交過程或結果所產生的變化轉換成電、光、聲等物理信號，通過解析這些響應信號，給出相關基因的信息�；騻鞲衅饕步凶鯠NA傳感器。
三、聲表面波傳感器——物理型
聲表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)傳感器是利用聲表面波技術以及微機電系統(tǒng)技術，把各種非電量信息，例如壓力、溫度、流量、磁場強度、加速度、角速度等的變化轉換成為聲表面波振器振蕩頻率的變化的裝置。
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