我們國家的壓力傳感器市場主要就是工業(yè)自動化控制領域,以及汽車領域。在工控領域里現在我國絕大部份采用擴散硅壓力傳感器、應變片式壓力傳感器以及濺射薄膜壓力傳感器,然而國內廠家生產面廣量大的就是擴散硅壓力傳感器。就在國內,西安市也是我國笫二個五年計劃里重點發(fā)展壓力系列傳感器的重要城市,陜西寶雞市在省會城市西安的帶動下,在原秦嶺晶體管廠進行技術改造,以及美國霍尼偉爾公司合作成立麥克傳感器公司,為我國擴散硅壓力傳感器生產開創(chuàng)了先河。不過MEMS技術和前道硅片制造技術仍控制在外國廠家手里。
進入九十年代,國際上MEMS技術才有了長足的發(fā)展,硅片定向微機電加工精度以及成品率不斷提高,加上離子注入技術的發(fā)展使擴散硅壓力傳感器從技術上有了可靠保證,成本也有所下降。就在許多應用領域里,擴散硅壓力傳感器還必須和充油蕊體配套,這又使得它的售價大幅度上升。這些原因無疑在一定程度上促進了國內壓力傳感器市場的興盛。
在國外,壓阻式陶瓷壓力傳感器以其高可靠性,抗腐蝕、優(yōu)良的線性精度以及低成本開始逐漸替代擴散硅壓力傳感器,這也會是必然的發(fā)展趨勢。國家科技部馬頌德副部長在2005年底視察無錫時,對此作了充分肯定。
瑞士Metallux公司,除此以外德國WIKA公司和韓國Greensensor公司也生產陶瓷壓力傳感器,他們都看好中國市場。在具體的傳感器設計理念雙方的立場有不同的地方,這是正常現象,因為理論始終有待于實踐提升。
本文由傳感器(http://www.nftsalereport.com )轉自傳感器之家網 蚌埠傳感器 拉力傳感器 稱重傳感器
|