|
在現(xiàn)在的半導(dǎo)體、制藥等行業(yè)的制造工藝操作中，這當(dāng)中包含ALD, CVD 與PVD 設(shè)備，對(duì)于高純度金屬化合物的液位的精準(zhǔn)測(cè)量非常重要。用來檢測(cè)該液位的傳感器必須很衛(wèi)生，不可以有碎片，污染源，而且也不可以像浮球技術(shù)一樣的有可能被卡住。還有這些化合物本身的物理特性，例如氣泡，霧氣等也要不能對(duì)傳感器的性能有任何影響。
解決辦法：
由集晟機(jī)電代理的美國(guó)原廠生產(chǎn)的SL-900系列“tube-in-tube” 型超聲波液位傳感器就是專門針對(duì)此高要求而設(shè)計(jì)研發(fā)的，現(xiàn)在已大量供給歐美、新加坡、韓國(guó)、日本、臺(tái)灣、中國(guó)大陸等半導(dǎo)體與制藥等行業(yè)的的金屬化合物廠家做為其容器的重要部件。
這個(gè)產(chǎn)品由放大模塊，316L不銹鋼傳感器和延長(zhǎng)線組成。沒有可移動(dòng)部件，非常小的機(jī)身，對(duì)被測(cè)化合物沒有介質(zhì)、粘度、顏色、密度的要求。經(jīng)驗(yàn)證明可以完美檢測(cè)的化合物有：DMAH, TAETO, CVD, TDEAT, CUTMUS, TEOS, DCE, TCA，精度可達(dá)2m。 SL-900系列還可根據(jù)客戶容器不同的尺寸和不同報(bào)警點(diǎn)的要求訂制，實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)檢測(cè)（最高可達(dá)8個(gè)點(diǎn)）。
|
