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一個(gè)典型的MEMS產(chǎn)品主要是由微傳感器、數(shù)字處理電路、微執(zhí)行器、微能源等合成的。然而微機(jī)電傳感器是利用微機(jī)械加工技術(shù)與微電子加工技術(shù)制作的各種傳感器。大家應(yīng)該都知道傳感器是將外部信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)的一種裝置，可以感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件，通常由敏感元件與轉(zhuǎn)換元件組成。
敏感元件是傳感器中能直接感受或響應(yīng)外界信號(hào)的部分，轉(zhuǎn)換元件也是傳感器中能將敏感元件感受或響應(yīng)的外界信號(hào)轉(zhuǎn)換成適合于傳輸或測(cè)量的電信號(hào)部分。微機(jī)電傳感器加工技術(shù)制作的各種傳感器，與傳統(tǒng)技術(shù)制作的傳感器相比，含有以下特點(diǎn)：微型化與集成化，高精度，高壽命，低成本，低功耗，快速響應(yīng)。微傳感器的以上特點(diǎn)決定著其具有廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，在汽車(chē)工業(yè)、航空航天、生物醫(yī)學(xué)、家用電器、環(huán)境測(cè)量、國(guó)防軍事等等都具有巨大的應(yīng)用潛力。
一般所提到的微機(jī)電傳感器有幾個(gè)大類(lèi)：分別就是壓阻傳感器，電容傳感器，壓電傳感器，諧振傳感器，隧道傳感器，熱傳感器，光傳感器，化學(xué)傳感器，微加速度傳感器等。這些微機(jī)電傳感器都有著不同的原理，不過(guò)有著相同類(lèi)似的性能。他們都具含有快速的響應(yīng)速度，也是在微機(jī)電系統(tǒng)是不可缺少的器件。
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